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PVRはPLD、スパッタ装置等、真空機器の設計、製造、改造を行うプロフェッショナルです。

TEL. 027-226-5491

〒371-0032 群馬県前橋市若宮町4-26-2

ランプ加熱機構

 

　高速昇温-降温加熱に最適です。光源にハロゲンランプを使用し、反射鏡に工夫を加え超高真空中でも反応ガス雰囲気中でも１０００℃加熱が出来ます。真空アニール装置、CVD装置、レーザーアブレーション（PLD)装置等に使われております。また、メンテナンスが容易で安価である特徴を有しています。

ランプ加熱機構を組み込んだ装置

基板サイズとしてφ１インチ~φ２インチまで対応しております。

今後、基板サイズの大型化を目指して開発を進めています。

heatermodule.pdf （876KB）へのリンク

バナースペース

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