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PVRはPLD、スパッタ装置等、真空機器の設計、製造、改造を行うプロフェッショナルです。

TEL. 027-226-5491

〒371-0032 群馬県前橋市若宮町4-26-2

レーザー基板加熱機構

 

　８０８nm固体レーザーを使用し、光学系及び真空中への光導入部に工夫を加えることで効率よく１０００℃以上の加熱を行うことが出来ます。真空アニール装置他、より高温を必要とするプロセスに最適です。


　　　ユニット前景



　　　　　　　　　　　　加熱テストの一例

heatermodule.pdf （876KB）へのリンク

バナースペース

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