PVRはPLD、スパッタ装置等、真空機器の設計、製造、改造を行うプロフェッショナルです。

　　ユニット前景　　　SiCヒーターアセンブリ（写真はφ３インチ）

･対応サイズはφ１インチからφ４インチまでとなっております。
･PLD、スパッタ装置で広く使われております。

温度分布も優れております。



加熱テストの一例、温度傾斜をつけることも可能です。

heatermodule.pdf （876KB）へのリンク