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PVRは真空装置を専門とするプロフェッショナルです。

TEL. 027-226-5491

〒371-0032 群馬県前橋市若宮町4-26-2

スパッター装置

様々なターゲットや、製膜条件に合わせた稼動圧力範囲の広いガンです。
SPTgunSPTimage
2インチ、3インチのスパッタガンをシリーズとしています。
UHVにも対応いたします。
また、磁性体材料をターゲットとすることも可能です。
DCスパッタ、RFマグネトロンスパッタとターゲット材料に合わせてお選びください。
スパッタ装置カタログ.pdf(38KB)
2inchsputtergun.pdf へのリンク(67.5KB)

バナースペース

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FAX 027-226-5491